半導體制造用真空閥門（Slit Valve Door）（臺灣產(chǎn)）

本產(chǎn)品是由臺灣擁有四十年橡膠產(chǎn)品生產(chǎn)經(jīng)驗，氟化橡膠產(chǎn)品生產(chǎn)經(jīng)驗接近十年，并在日本，韓國，臺灣地區(qū)的半導體行業(yè)得到廣泛應用的專業(yè)企業(yè)生產(chǎn)，全部氟化橡膠產(chǎn)品的生產(chǎn)線設在臺灣，擁有100級和10000級的潔凈室，擁有高精密度三次元測量儀，專業(yè)的電漿雜質(zhì)測試設備等，保證高給客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品。且有開發(fā)能力，可以根據(jù)客戶要求提供相應產(chǎn)品。

產(chǎn)品特點：

1，耐高溫；

2，抗等離子；

3，低雜質(zhì)產(chǎn)生，高純度；

4，使用壽命長；

5，低金屬含量；

6，低氣體放出；

7，價格低廉。

可以提供產(chǎn)品線：

對應6英寸半導體生產(chǎn)線及8英寸半導體生產(chǎn)線特點

低雜質(zhì)放出量，

防止金屬接觸，

長時間使用壽命。

對應12英寸半導體生產(chǎn)線產(chǎn)品特點

安裝簡單，

價格低廉。

對應材料：FKM，F(xiàn)FKM

產(chǎn)品例

應用領域：IC， LCD， LED， OLED等半導體行業(yè)的生產(chǎn)制造過程中的下列制程

干法蝕刻（Dry Etching), 濕法蝕刻（Wet Etching), CVD, PVD, 擴散（Diffusion)等。

等離子（電漿）雜質(zhì)檢測設備/壓力檢測設備

FTIR/三次元測量

RIE測試設備/PECVD測試設備

KEYWORDS：密封圈，全氟密封圈，全氟O型圈，O ring, O RING, O-RING, 密封件， 氟膠圈，氟膠墊片，O型氟膠圈， 氟膠墊片， 氟膠條， 氟膠管， 氟膠平墊圈， 進口O型圈， 方型圈，星型圈， 不規(guī)則密封橡膠條， 真空閥門， 真空狹縫門， 真空檔板， 鋁檔板，